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| 电源 |
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产品代码： RTP-100 产品价格： 根据要求 交货时间： 根据要求 |
真空快速退火炉，升温速率高达 150 K/秒。
主要特点是
温度均匀性好
精确控制的升温速率和快速降温速率
MFC精确控制工艺气路
占地面积小的桌上式设计
抽屉式设计多用途桌面装置，适用于以下应用：
适用于各种半导体工艺的优秀工具
离子注入/接触退火
快速热处理（RTP）,快速退火（RTA）,快速热氧化（RTO）,快速热氮化（RTN）；
可在真空、惰性气氛、氧气、氢气、混合气等不同环境下使用
SiAu、SiAl、SiMo 合金化
低介电材料
晶体化、致密化；
太阳能电池片键合等等
技术数据：
适用于最大 100 mm (4") 或 100 mm x 100 mm 基板尺寸的单晶圆
石英腔室
带有集成气体入口和出口
包括一路带有氮气MFC质量流量控制器的工艺气体管路（5 nlm = 标准升每分钟）
由 18 个红外灯（20 kW）加热
顶部和底部加热（可选）
配置真空泵支持真空退火（高达 10E-3 hPa，高达 10E-6 hPa：请参阅 RTP-100-HV）
SPS 程序控制，具有 50 个程序，每个程序最多 50 个步骤（以太网接口），SIMATIC
7" 触摸屏，方便编程和过程控制
最高温度1200℃
热电偶温度控制
需要水冷
电气连接类型：32 A CEE 插头（3x 230 V，三相，N，PE，20 kW）
设备尺寸：504 x 504 (700) x 570 毫米（宽 x 深 x 高）
体重：55公斤
快速退火炉将由西门子 SPS 控制器进行编程。支持存储 50 个程序，并保存所有温度曲线和段。
可根据要求提供水冷却器、附加流量计、附加工艺气路、附加热电偶等选件和附件。适用于各种应用和客户。小尺寸方便取放样品和卸载腔室。退火炉可以轻松放置在标准实验室桌。
选项和配件：
| RTP-100 | 标配带有 1 路氮气 MFC (5 nlm) |
| RTP-MFC | MFC质量流量控制器（最多总共 4 个） |
| VAC I | 真空度高达 3 hPa，包括真空传感器和阀门（不包括泵） |
| VAC II | 真空度高达 10E-3 hPa，包括真空传感器和阀门（不包括泵） |
| MP | 隔膜泵或隔膜泵 |
| RVP | 旋片泵 |
| RTP-Ox | 氧气测量 |
| RTP-MM | 水分测量 |
| RTP-H2+H2S | 氢气模块使用 100% 氢气，配有安全装置，包括。微量燃料电池 |
| RTP-SW | 用于冷却器和/或真空泵的开关盒 |
| RTP-TC | 辅助热电偶（最多 1 个） |
| RTP-VCR | VCR 连接器和线路（根据要求） |
| WC III | 冷水机 |
| RTP-GP | 石墨托盘（SiC 涂层选配） |
| RTP-PC-100 | 附加腔体，可与一个过程控制器单元（双腔室）100 mm 一起使用 |
| RTP-QR-50 | 50 mm 晶圆适配器 |
| RTP-QR-75 | 75 mm 晶圆适配器 |
