快速热处理炉和真空处理炉
我们专门开发快速热退火系统，主要用于研发用途。实际上我们提供三种不同的系统；取决于客户的工艺要求。对于特殊应用、愿望或选择，请随时与我们联系。
新功能：RTP-100 高达 1500 °C
RTP-100
快速退火炉，最快升温速率可达150K/sec
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RTP-100-EP，最快升温速率可达200K/秒
符合真空要求的快速热处理炉，升温速率高达 200 K/秒。
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RTP-100-HV（高真空）
符合高真空要求的快速热处理炉，升温速率高达 150 K/秒。
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RTP-100-HV-EP（高真空），升温速率为 200K/秒
符合高真空要求的快速热处理炉，升温速率高达 200 K/秒。
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RTP-150
真空快速退火炉，升温速率高达 75 K/秒。
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RTP-150-EP（新）
快速热真空工艺炉，升温速率高达 150 K/秒。
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RTP-150-HV（高真空）
高真空快速热处理炉，升温速率高达 75 K/秒。
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VPO-300（自动垂直开/关）
真空度高达 10E-6 hPa（可选）
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VPO-300-HV
VPO-300-HV高真空快速退火炉
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手册：基于SPS的VPO/VSS/RTP/RSO系列
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