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产品代码： 2Z-HVS-100高真空密封机 产品价格： 根据要求 交货时间： 根据要求 |
2Z-HVS-100
2 区高真空密封机，用于在高真空下密封 MEMS 封装
（高达 10exp.-6 hPa）具有高可靠性密封。电子元件可以在密封之前在 2 个不同温度的加热区中进行处理，最高可达 450 °C。这也允许吸气剂激活。可以并行处理 6 个包装（最多 6 个适配器，每个适配器直径为 14mm）。
在真空中，升温速率非常显着，为 35 K/min。 PID 控制器最多可存储 20 个程序，每个程序有 100 个步骤。 USB接口可以轻松编程和存储无限的程序。过程数据可以记录并保存为.csv 或.xls 数据。
一个关键特征是部件的自动定位和密封，而两个部件必须具有相同的温度。控制不同的升温速率和/或降温速率是一项艰巨的任务，但得到了很好的解决。
玻璃后面的开放式结构允许连续监控/查看过程。
电气连接功率为 3.2 kW（230V AC，1 相），可连接到标准电源插座。
运行时严格要求水冷却。
200 x 500 x 470 mm（宽x高x深）的小尺寸和23.5 kg的小重量使系统非常紧凑，可以放置在小型实验室桌子上。
该系统非常适合小批量和原型生产，与其他生产系统相比是一种低成本解决方案。
技术数据
2 个加热区域，每个区域直径 100 mm 和 6 个组件适配器
腔室高度 100 毫米
温度范围 底部加热器：最高 450 °C，顶部加热器：最高 200 °C
底部加热器可选最高 600 °C
升温速率 35 K/min（真空中）
降温速率 25 K/min（真空中）
真空能力高达 10exp.-6 hPa，包括。泵、闸阀和真空测量
接口 USB 包括软件 优软
控制器HVS-2604（可存储20个程序，每个程序100步）
尺寸 200 x 500 x 470 毫米（宽x高x深）
重量 23.5 公斤
电压 230 V AC 1 相
频率 50-60 赫兹
电流最大值16A
连接负载 3.2 kW
选项和配件：
HVS-TC：用于在设备上测量的附加热电偶；用于外部测量工具
WC I：闭环水冷系统（独立）
