可编程 热板与 综合的 高精度 Eurotherm 控制器和真空加热台,适用于 2 片 100mm 晶圆/基板尺寸
应用实例:扁平元件的回流焊接重型零件的焊接预热退火光刻胶和环氧树脂的固化实验室测试
可选:
带有观察窗的盖子和溶剂排气口的连接
技术数据:
| 可接受 2 片 100mm 平行晶圆 | |
| 加热面积: | 220 毫米 x 155 毫米 |
| 零件治具: | 加热板上有 2 个真空孔 |
| 温度范围: | 高达 250 °C |
| 升温速率: | 最大25k/分钟 |
| 降温速率: | 最大10k/分钟 |
| 冷却: | 受控冷却 |
| 编程: | 可编程多达 16 个段(加热和冷却) |
| 与电脑接口: | USB 接口和 PC-Windows 软件(作为选项)用于编程、程序管理和监控 |
| 盖板: | 带盖保护,用于连接排气(溶剂蒸汽)(盖下高度:80mm) |
| 调平脚: | 可调 |