通用温度等离子清洗机，最大样品尺寸：305 毫米 x 305 毫米（最大零件高度 25 毫米）
应用：
表面活化、清洁和涂层
基板和晶圆的快速升温
无助焊剂焊接
倒装芯片加工
粘合
焊点回流焊
功率器件的焊接
小批量生产和原型开发
PTP-300 技术数据：
| 样品区： | 305 毫米 x 305 毫米 x 25 毫米（处理区域） |
| 腔室高度： | 35毫米 |
| 腔体材质： | 铝/石英玻璃 |
| 腔室材料（可选）： | 铝或石英玻璃处理室（尺寸：305 x 305 x 26 mm） |
| 外部尺寸： | 600 毫米 x 1850 x 880 毫米（宽 x 深 x 高） |
| 腔室： | 集成进气口/默认 2 路工艺气路 |
| 工艺气路： | 2 个MFC工艺气路 |
| 真空： | DN25 KF真空法兰 |
| 加热方式： | 24个红外灯（总计18千瓦） |
| 过程控制： | 带 LCD 显示屏的 SPS 控制器 PP420 (B&R) |
| 保养： | 以太网 |
| 微波发生器： | 用于等离子清洗或去除氧化物，最大耐受频率 2.45 GHz 600 W，从 100 W 到 600 W 无级 |
| 冷却： | 需要水冷（水冷器可选） |
| 功率： | 3/N/PE；交流电； 50/60赫兹； 230/400伏 |
| 重量： | 150-200公斤（取决于配件） |
选项和配件：
| PTP-AL | 自动装载 |
| PTP-MFC | MFC工艺气路 |
| PTP-RPP | 双级旋片泵，真空度高达 10-3 mbar |
| PTP-HVP | 带闸阀和皮拉尼真空计的涡轮分子泵，真空度高达 10-6 mbar |
| PTP-WC | 闭环水冷系统 |
