| 甲酸 |
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| 燃气管线 |
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| 真空 |
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| 泵 |
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| 水冷系统 |
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| 温度 |
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| 室 |
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| 陷阱 |
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| 氢气选项 |
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| 热电偶 |
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| 测量 |
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| 安全 |
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| 警示灯 |
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| 侧窗 |
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| USB摄像头 |
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| 开关盒 |
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| 视口 |
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| 电源 |
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产品代码： RSS 3X210-S 产品价格： 根据要求 交货时间： 根据要求 |
用于批量生产的回流焊系统
RSS-3X210-S 回流焊系统是一款非常紧凑且易于使用的工具，可作为桌面装置在实验室和洁净室中使用。该室是真空密封的并配备有观察窗。这允许焊接过程的视图控制。该装置标准配备了工艺气体质量流量控制器。
回流焊系统非常适合以下应用：
无助焊剂焊接
倒装芯片焊接工艺
键合
Bump回流焊接
微电子封装
功率器件焊接
晶圆热处理
工艺研发
质量控制
技术数据：
加热区域：3块加热板，每块210 mm x 210 mm
腔体高度：40 毫米（可选最高 80 毫米）
氮气质量流量控制器 (5 nlm)
真空气氛高达 10exp.-3 hPa（KF16 连接器）
温度高达 300 °C（可根据要求更高）
最快升温速率：更好 120 K/分钟
最快降温速率：更好 60 K/分钟
SIMATIC© 过程控制，包含 50 个程序，每个程序 50 个步骤
7寸触摸屏
水冷室（受控和监视）
电气连接类型：3x 230V，3P，+N，18 kW
选件和附件
| FA I | 带质量流量控制器的甲酸模块（独立模块，未集成） |
| FA II | 带有质量流量控制器的集成甲酸模块 |
| FA III | 带有共享质量流量控制器的集成甲酸模块 |
| MFC | 附加质量流量控制器（最多 2 个） |
| RSS-EH | 腔体高度由 40mm 改为 80mm |
| RSS-H2 | 氢气模块：用于使用 100% 氢气，包括氢气。带质量流量控制器的气体管线 |
| RSS-H2S | 防止氢气不受控制排放的安全装置 |
| RSS-IL | 运行时的联锁机构 |
| 提升销 | 用于晶圆上下移动的升降销选项 |
| RSS-TC | 附加热电偶（最多 3 个） |
| VAC I | 基本真空高达 3 hPa，包括。真空传感器和阀门，不包括。泵 |
| VAC II | 舒适真空高达 10E-3 hPa，包括真空传感器和阀门，不包括。泵 |
| MP | 真空度高达 3 hPa 的膜/隔膜泵 |
| MPC | 耐化学腐蚀隔膜泵，真空度高达 3 hPa |
| RVP | 旋片泵，真空度高达 10E-3 hPa，带油过滤器 |
| WC II | 闭环水冷系统 |
